Một thiết bị quét hiển vi âm học (SAM) là một thiết bị sử dụng âm thanh để điều tra, đo lường hoặc tạo ảnh cho một đối tượng (gọi là quá trình cắt lớp bằng cách quét âm học). Đây là thiết bị được sử dụng phổ biến trong phân tích sai hỏng (failure analysis) và đánh giá không phá hủy (non - destructive evaluation). Thiết bị cũng được dùng trong các ứng dụng sinh học và nghiên cứu y khoa. Ngành công nghiệp bán dẫn cũng nhận thấy lợi ích của SAM trong việc phát hiện các lỗ rỗng (voids),sự nứt gãy, và sự tách lớp của các gói vi điện tử.